Macchina per wafer Aviza Technology, Inc. RVP-300 Venditore verificato

Marca Aviza Technology, Inc.
Modello RVP-300
Anno
Ubicazione Irlanda IE
Categoria Semiconduttori - Macchine per wafer
Numero del prodotto P01118036

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In merito a questo venditore Venditore verificato

Tipo di cliente Rivenditore
Attivo dal 2010
Offerte online 67
Ultima attività 12 Aprile 2021

Specifiche tecniche

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Ore effettuate
Ore allacciato alla corrente
Condizione buono
Conforme alle norme CE ---------
Stato visibile

Descrizione

Aviza Technology, Inc. RVP-300
Forno a diffusione verticale
Attualmente configurato per wafer da 300 mm
DETTAGLI DELL'ATTREZZATURA:
Processo: ANNEAL
La configurazione dello strumento si basa sul PO originale, verificare i dettagli dello strumento durante l'ispezione dello strumento
Sistema, specifiche generali
Elemento riscaldante Modello FURNACE, ATM -APL
Condizione di processo AP
Temperatura massima di esercizio 1200c
Blocco carico N2 Sì
Wafer Tipo 300 SEMI STD-Notch
Qtà. di Produzione Wafer 120 slot Ladder
Funzionamento dell'imbarcazione 2 Tipo di imbarcazione
Versione software AVP 2.7.1 V
Sistema, fornace
Luce bianca dell'area di carico 2
Sistema Force Air Cooiling installato 1
Manutenzione laterale Nessuno Nessuno
Controllo densità O2 0-100 ppm 1
N2 Raffreddamento wafer doccia per barche Nessuno 1
Controllo SSPC del termoregolatore del forno 9
Sistema, movimentazione wafer / trasportatore
Tipo di portapacchi 12 "FOUP
Capacità stadio portante 16 FOUP
Tipo WTU GenMark
Allineamento WTU GenMark
Metodo di apprendimento WTU Pre-allineatore / doppio raggio
Sistema, distribuzione gas
IGS Maker / Tipo Fujikin
IGS MFC Maker / Tipo AERA
IGS Press Transducer Maker / Tipo Mykrolis
Sistema, specifiche di scarico
Vacuum Gage - Strumento AP da 2 torr
Vacuum Gage - Strumento AP da 10 torr
Vacuum Gage - Strumento AP da 100 torr
Vacuum Gage - Strumento AP da 1000 torr
Strumento AP della valvola principale
Strumento AP per Pump Maker / Model
Strumento AP per valvola a basso vuoto
Strumento Trap AP
Strumento AP del controllore di pressione del vuoto
Sistema, reattore
Process Tube (LP) Nessuno
Materiale tubo esterno / interno (LP) Nessuno
Tipo di camera d'aria (AP) al quarzo singolo
T / C interno 12FT / HONEYWELL
Barca Materail / Tipo Sic
Rotazione della barca Nessuna
Piedistallo Materail / Tipo Quarzo
Otturatore automatico installato
Sistema, distribuzione dell'alimentazione
Voltaggio trifase 480VAC
Tensione Monofase Nessuno
Frequenza 60Hz
Tastiera e schermo del pannello operativo
Tipo di indicatore Mouse
Tipo di software operativo Linux
Rilevatore di fughe di gas
Rilevatore di fughe di gas Materail / Tipo GasTech
Sistema, elenco dispositivi, gas
Dispositivo di manutenzione IGS Nessuno
Vuotometro Nessuno
Elenco delle parti danneggiate / mancanti
Le pompe a secco non sono incluse nella vendita
Si prega di ispezionare lo strumento per riconfermare

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